量表面的做法
量表面，特别是测量表面形貌和粗糙度，有多种方法可以采用。以下是一些常用的表面测量手段：
机械探针法
原理：利用机械探针与待测样品表面接触，探针沿表面移动，通过位移传感器测量探针的上下移动量，从而得到被测表面的轮廓。
特点：直观、操作简单，适用于大多数情况下的表面形貌测量，但属于接触式测量，可能会损伤被测表面。
光学探针法
原理：包括几何光学探针和物理光学探针，利用光波干涉原理检测表面形貌。
分类：
几何光学探针：利用图像面共轭特性，如共焦显微镜和离焦检测。
物理光学探针：通过测量程差来检测表面形貌，包括外差干涉和微分干涉。
特点：非接触测量，无需高精度调焦系统，但需要一套光学设备。
干涉法
原理：利用光波干涉原理测量表面轮廓，通过多采样点同时测量，具有高横向分辨率和纵向分辨率。
应用：适宜于测量结构单元尺寸在毫米量级，表面尺寸在微米或亚微米量级的微结构。